用液體質(zhì)量流量計測量質(zhì)量及流量，采用后置汽化器將對全部液體進行汽化的方式。

直接汽化法的基本原理

直接汽化法使用液體質(zhì)量流量計進行質(zhì)量測量，并通過汽化器內(nèi)置的控制閥將流量控制后的液體連續(xù)引入汽化室。在汽化室中，液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體，但瞬間汽化后的氣體質(zhì)量不會改變，因此，如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器，液體主要的質(zhì)量流量=汽化器出口處的氣體質(zhì)量流量。

由于汽化濃度的要素由MFC直接控制，因此穩(wěn)定性，可進行高濃度汽化，這是鼓泡法難以實現(xiàn)的。

特點

• 無需較多溫度管理

• 直接對流量進行控制，精度與穩(wěn)定性

• 支持減壓、常壓條件下的汽化供給

• 支持大流量的汽化供給

搭載壓電控制閥，對應(yīng)微小流量汽化需求的小型液體汽化器。

汽化室附近搭載能夠進行高速、高精度微小流量控制的壓電致動器。該結(jié)構(gòu)的死體積較小。

最大支持TEOS 7g/min，H2O g/min汽化量的緊湊型汽化器。通過將載氣（最大流量14SLM）和液體混合并引入汽化室，可以實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。

特點

• 微小流量汽化

• 維護成本低

• 汽化室附近搭載液體流量控制閥

使用范例

真空、大氣條件下的小流量汽化

該汽化器采用緊湊型設(shè)計，結(jié)構(gòu)小巧，即使在連續(xù)的微小流量下也能實現(xiàn)精確的流量汽化供給，且不受輸出端的壓力影響。

TEOS,TEB,TEPO的汽化供給

除了半導(dǎo)體制造工藝中經(jīng)常使用的TEOS外，還可以對TEB和TEPO等各種液體進行汽化供給。此外，還可以通過串聯(lián)汽化器同時汽化供應(yīng)多種液體。

規(guī)格表

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