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ULVAC愛發科用于FPD半導體電子部件等各種制造設備皮拉尼真空計SW1-N1

更新時間:2025-06-04      瀏覽次數:55

皮拉尼真空計Model:SW1-1(日本產) / SW1-N1(中國產)

ULVAC

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皮拉尼真空計,可以測量從大氣壓到5×10-2Pa的廣泛的壓力范圍
該真空計從傳統的控制器(傳感器單元)中除去操作·顯示部,最大限度凝縮精簡功能,使「降成本」和「省空間」成為可能。




    特點

    • 測量范圍:可以進行從大氣壓到5×10-2 Pa

    • 抗沖擊性提高:具有高抗沖擊性的結構設計(正在申請)

    • 優異的大氣壓精度:無論真空計的安裝位置如何,精度均在±20%以內(日本第4878289號)

    • 燈絲材料·鉑(Pt):由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲

    • 可視化程度提高:配備可確認異常的LED

    • 一觸式調整:一鍵式即可進行大氣壓力調整和零點調整

    • 維護:更換測定子更輕松

    • 適用測定子擴展:除了NW16 / 25規格外,還將Φ15/ 18規格,拼接法蘭規格和錐形螺絲R1 / 8規格添加到產品陣容中







    用途

    • 太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備

    • 用于設備的低真空領域的工藝控制

    • 用于爐等各種工業設備的低真空領域的工藝控制

    • 用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制

    • 用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統







    規格

    ModelSW1-1SW1-2
    Connectable sensor head1 pc
    Compatible sensor headSWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(φ18), SWP-P15(φ15), SWP-CF16(ICF034), SWP-1S(ASME BPE sanitary 1")
    Measurable pressure range5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa)
    Accuracy*1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±10%
    5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20%
    Repeatability1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2%
    Sampling time50ms 5回の移動平均処理
    Value outputOutput voltage DC 0 to 10V
    Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade
    (Update time) 50ms
    Control input signalOpen collector input, Negative logic-
    ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust)-
    Control output signal

    Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]

    -
    Error signal-
    Set point 1, 2-
    Monitor for setpointSet point 1, 2: 0 to 10V Log output-
    Serial communication type-RS232C/RS485
    LED displayPOWER/ERROR: Power error LED
    SET-1: Set point 1LED-
    SET-2: Set point 2LED-
    Materal of filamentPt
    Operating temperature range10 ~ 40℃
    Operating humidity range15 ~ 80% (Not condensing)
    IP ratingIP30 (Sensor unit)
    Fixing positionFree
    Power supply voltageDC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input)
    Input/output connectorD-sub 15-pin (M2.6mm screw) - side sensor unit
    Weight150g (with SWP-16)
    Dimension (Power supply) W×D×H70mm×46mm×28mm
    Standard accessoriesQuick manual
    OptionInput/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate
    Applicable standardCE






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