特點

• 結構緊湊，排氣量大。

• 氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。

• 豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。

• 內置自動復位型熱保護器等安全設計。

• 大氣壓下可運作。

• 可全壓力范圍內連續運轉。

• 結構簡單，維護方便。

用途

• 真空吸盤，真空鑷子。

• 半導體行業。（處理機，貼片機）

• FPD行業。（壓合機）

• 印刷機。

• 注塑成型。

• 吸附和轉移。

規格

※1：極限壓力如（）真空計顯示。
※2：不包括電源插頭和電源線。

對應標準/電壓

●：標準、○：可選對應、－：對應不可
※ＴＵＶ認證：本產品是通過國際第三方產品安全測試和認證，符合歐洲標準的高質量產品。
※ｃＴＵＶｕｓ認證 ： 本產品是通過國際第三方產品安全測試和認證，符合美國標準的高質量產品。

使用上的注意

1　如果在負載運作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。
在這種情況下，將泵內部恢復到大氣壓。

2　請不要吸入腐蝕性氣體，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。
另外，請確保污垢和灰塵不會進入泵內部。

3　泵的滑動材料會在運行過程中磨損，產生磨損粉末。
此外，所使用的滑動材料對抗水性較弱，因此吸入水分則會加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。

4　僅供室內使用。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。