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日本ULVAC愛發(fā)科NRL60A干式真空泵北崎熱賣

更新時間:2025-06-12      瀏覽次數(shù):114

    NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

        特長
      1. NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。


      2. 低噪音、低振動


      3. 優(yōu)良的耐腐蝕性


      4. 標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。


      5. 選購件


      6. 可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。



      7. 用途
      8. •  活性氣體(CVD、刻蝕等)。


      9. •  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。


      10. •  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)


      11. •  作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。


      12. •  冷凍干燥等水蒸氣排氣。


  • 技術(shù)參數(shù)

  • 外形尺寸圖

  • 抽氣速率曲線


* 1  極限壓力是氮氣(密封氣體)在5.0 SLM時的值。

* 2  無結(jié)露。

* 3  用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。

* 4  氮氣(密封氣體)流量5.0 SLM是固定值。



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